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洁净棚如何控制温度?
作者:超级管理员 | 发布时间:2025-10-20 | 载入中... | 洁净室装修 | 实验室装修

FFU送风+控温机组:在洁净棚顶部布置FFU(风机过滤器单元),让空气先经过控温设备(电加热/表冷盘管/干冷盘管)调到设定温度,再经高效过滤器(H14/H14以上)垂直下送,形成稳定的单向流或均匀紊流,从而把温度均匀性与波动度控制在目标范围内。该方式适合对温度稳定性要求高的场景,工程案例可实现棚内±0.1℃的稳定度。

与外部HVAC联动:中小洁净棚常把空调箱/新风机组+末端FFU作为整体来控温,棚内以末端微调为主、机房侧承担显热/潜热的主要负荷,便于在大环境中维持稳定的送风参数。

局部点加热/冷却与微环境:对局部位点(如工装夹具、载物台)可用微环境加热/冷却或恒温水套配合棚内洁净气流,减少大空间再加热/再冷却的能量消耗。

新风与排风的热湿处理:新风需经表冷/加热/加湿/除湿处理并计入负荷,避免外界天气波动直接“穿透”到棚内;排风与回风比例要与控温、控压策略协同,防止温度“拉偏”关键设计点与控制策略

设定值与外界的偏置:当采用单向加热的简易恒温方案时,建议将棚内设定值较室外最高日波动值上调约0.5℃,以抵消外界升温带来的渗透与传热影响(示例:室外20.0–23.0℃,棚内设23.5℃,实测可稳定在23.4–23.6℃)。具备冷热源时则无需此偏置。

风速与温度均匀性:单向流场景下,高效出风口垂直风速宜控制在<0.2–0.3 m/s,在满足洁净度的前提下避免过大风速引起温场扰动与噪声升高探头布置与测量:温度探头建议使用Pt1000,规格Φ≤3 mm、L≤30 mm,布置在高效出风口正下方、工作台面上方,并保证足够采样频率(工程案例采用>1 Hz),以真实反映产品所在位置的温度与波动。

压差与渗透控制:通过“送风>回风+排风”维持微正压,典型要求为:不同等级洁净区之间≥5 Pa,与室外≥10 Pa,可显著降低外界热湿负荷对棚内温度的扰动。

新风量取值:作为计算风量的下限参考,可取三项中的最大值:

1)乱流棚按总送风量的10–30%;层流棚按总送风量的2–4%;

2)补偿排风与维持正压所需新风;


3)人员新风,每人不小于30 m³/h

典型场景的推荐控制配置


场景/等级


推荐控温配置


关键点


百级/ISO 5,高稳态

FFU+电加热/干冷盘管+高精度温控器(显示精度0.001℃、控制±0.1℃)+Pt1000探出风口风速<0.2–0.3 m/s;探头靠近工作区;必要时做“棚内微正压”与外界隔离

千级/ISO 6–7,常规电子

机房空调(或恒温恒湿机组)+末端FFU+常规温湿度传感器

以机房侧控温为主,棚内FFU微调;控制逻辑与报警、数据记录要完善

十万级/ISO 8,一般工况

吊顶式净化空调+FFU+温湿度传感器

新风按规范取值;关注季节切换时的再热/再冷与防结露策略

上述配置与参数适用于从简易恒温到与HVAC联动的多种洁净棚形态,既能满足百级±0.1℃的高稳态需求,也可覆盖常规电子/制药/实验室的ISO 6–8应用

调试与运维要点


分阶段调试:先做“空态”温度场与风速场均匀性测试,再做“静态/动态”带载验证;对恒温目标,建议进行连续8–48小时的稳定性记录与超调量评估。


探头校准与代表性:使用Pt1000并定期校准;探头应避开直吹气流与热源直射,贴近代表性工位,保证读数能反映真实工艺表面温度。


报警与数据追溯:启用超温/偏差报警与曲线记录,对过滤堵塞、风机故障、外界气候突变等情形设置联动策略。


结露与静电预防:当相对湿度>55%易在冷表面结露,<30%易积静电,需通过表冷/加湿/除湿与接地/防静电措施协同控制,避免温度控制与湿度控制相互“打架


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