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微纳加工平台超净间
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微纳加工平台实验室是集微纳器件研发、工艺验证和小批量生产于一体的综合科研设施,主要服务于高校、科研机构及高新技术企业,从清洗、长膜、光刻、刻蚀到封装和测试,从前道工艺到后道工艺,有着全套完整的工艺流程,用户所有的工序都可以在这里完成,


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